1~3軸氣浮平移臺(tái)
概述：我公司的氣浮平移臺(tái)產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高
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我公司的氣浮平移臺(tái)產(chǎn)品，一般采用直線電機(jī)、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場(chǎng)合。
可提供超長(zhǎng)行程單軸工作臺(tái)。
也可采用音圈電機(jī)、高精度絲杠配合我們獨(dú)創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)。
平移臺(tái)可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)。
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也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達(dá)20nm，有成功案例。
采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場(chǎng)合。
可提供超長(zhǎng)行程單軸工作臺(tái)。
也可采用音圈電機(jī)、高精度絲杠配合我們獨(dú)創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)。
平移臺(tái)可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)。
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- 大質(zhì)量高精度火箭衛(wèi)星質(zhì)心和轉(zhuǎn)動(dòng)慣量測(cè)試設(shè)備推出，打破國(guó)外壟斷。 用于衛(wèi)星、火箭導(dǎo)彈、火箭導(dǎo)彈發(fā)動(dòng)機(jī)、飛機(jī)、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)等飛行和空間設(shè)施的質(zhì)量特性的高精度測(cè)試測(cè)試，也可以汽...
