北京上海市初效過濾器，北京上海市中效過濾器，北京上海市高 
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      （1）高效過濾器安裝以后必須要進行檢漏；
        （2）要計算 DOP 的發塵量及系統風量，確定DOP 導入地點；
        
（3）要測量高效過濾器上游的粒子濃度；
        （4）根據規范按 0.5μm 
的粒徑來檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標準來確定 K 值；
        （5）建議采用 
28.3 L/min 的粒子計數器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計數器，必須控制掃描速度。  
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