專業生產砷化鎵工藝烘烤箱,多段程控class100烘箱 

    概述:專業生產砷化鎵工藝烘烤箱,多段程控class100烘箱 無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤
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    刷新時間:
    2021-04-23 16:32:12 點擊72581次
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    銷售區域:
    全國
    價格:
    • 140000 元
    起售數量:
    • 1
    品牌:
    • 上海旦順
    型號:
    • COL-2D
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    專業生產砷化鎵工藝烘烤箱,多段程控class100烘箱

    涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

    二.特點:

    1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100

    2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;

    3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)

    4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到最佳溫度控制精度。

    三.產品技術參數:

    1.無塵等級:Class 100;

    2.溫度范圍: +60~ +250℃;

    3.升溫速度:常溫~+200℃,升溫速度>6℃/min  ,

    4.溫度均勻度:±2.5℃;(空載)

    5.溫度精確度:±1℃(空載)

    6.設備型號:

    型號

    工作室尺寸(mm)

    外形尺寸(mm)

    加熱功率

    層板

    COL-2D(雙腔)

    W600×H500×D600

    W1655×H1850×D1250

    14kw

    共2片

    7.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;

    8.內膽材料:采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;

    9.中桶材料:采用進口SUS304#日制鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

    10.保溫材料:采用正廠中央玻璃纖維公司出品,100K級高密度高保溫板制造。

    11.電 熱 器:采進口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器。

    12.溫 控 器:采用日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。

    13.完善的安全保護措施:漏電保護/過熱保護報警/電機保護報警/ 門鎖工作時門自動鎖/異常顯示(三色警示燈) 


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