專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砷化鎵工藝烘烤箱，多段程控class100烘箱 

涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

二．特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.無(wú)塵等級(jí)：Class 100;

2.溫度范圍： +60～ +250℃；

3.升溫速度：常溫～+200℃,升溫速度>6℃/min  ,

4.溫度均勻度：±2.5℃;（空載）

5.溫度精確度：±1℃（空載）

6.設(shè)備型號(hào)：

7.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；

8.內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；

9.中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

10.保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100K級(jí)高密度高保溫板制造。

11.電 熱 器：采進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器。

12.溫 控 器：采用日本OMRON E5A型溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。

13.完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)/過(guò)熱保護(hù)報(bào)警/電機(jī)保護(hù)報(bào)警/ 門(mén)鎖工作時(shí)門(mén)自動(dòng)鎖/異常顯示(三色警示燈)