掃描電子顯微鏡檢測 

【儀器簡介】

掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時，也可產生電子-空穴對、晶格振動 （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。

【特點】1. 強大的電子光學系統，簡單操作 2. 高解析度 3.全自動電子槍  4. 多圖顯示模式 5. 簡單易懂的操作介面及功能表 6. 可變焦聚光鏡修改 7. 全對中樣品臺 8. 低真空SEM 

【技術參數】

放大倍數：5-300，000倍 

解析度：高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) 

電子槍：全自動，亦可手動調整 

樣品臺：大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度 

燈絲：工廠預對中燈絲（鎢） 

圖像模式：二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像 

加速電壓：5-30KV 

聚光鏡：可變焦聚光鏡 物鏡：超級錐形物鏡 物鏡光闌：3檔，X-Y可細調

電位移：±50微米 自動功能：聚焦，亮度，襯度，消像散 

最大樣品：直徑：150mm 樣品交換：抽拉式樣品臺 

真空系統：全自動擴散泵DP。分子泵TMP